從激光器發出的光束，第三方電學計量檢測經擴束準直後由分光鏡分為兩路，並分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生幹涉條紋。當可動反射鏡移動時，幹涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈衝信號，經整形、放大後輸入可逆計數器計算出總脈衝數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈衝總數)，電學計量檢測機構算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光幹涉儀時，要求周圍大氣處於穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。

幾何精度檢測可用於檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平麵度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重複定位精度、微量位移精度等。湖南電學計量檢測利用雷尼紹ML10激光幹涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，並且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，第三方電學計量檢測同時可大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到更高的精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。

三坐標測量機在模具行業中的應用相當廣泛，電學計量檢測是一種設計開發、檢測、統計分析的現代化的智能工具，更是模具產品無與倫比的質量技術保障的有效工具。當今主要使用的三坐標測量機有橋式測量機、龍門式測量機、水平臂式測量機和便攜式測量機。測量方式大致可分為接觸式與非接觸式兩種。模具的型芯型腔與導柱導套的匹配如果出現偏差，可以通過三坐標測量機找出偏差值以便糾正。電學計量檢測機構在模具的型芯型腔輪廓加工成型後，很多鑲件和局部的曲麵要通過電極在電脈衝上加工成形，從而電極加工的質量和非標準的曲麵質量成為模具質量的關鍵。

激光幹涉儀主要特點：1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角；2.設計用於安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器；3.可選的無線遙控傳感器長的控製距離可到25米；4.第三方電學計量檢測可測量速度、加速度、振動等參數，並評估機床動態特性；5.全套係統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架；6.集成幹涉鏡與激光器於一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間；7、激光幹涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，並評估機床動態特性等；8、電學計量檢測機構激光幹涉儀的光源——激光，具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點；9、激光幹涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用；