激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的幹涉儀，主要是以邁克爾遜幹涉儀為主，並以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有幹涉作用的測量係統。激光幹涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，並可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
激光幹涉儀主要特點：
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用於安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器長的控製距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，並評估機床動態特性
5. 全套係統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
6. 集成幹涉鏡與激光器於一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間
7、激光幹涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，並評估機床動態特性等。
8、激光幹涉儀的光源——激光，具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。
9、激光幹涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。花季传媒入口网站
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